洁净工厂相比于常规搬运环境，对设备本身的洁净度和运行过程中的洁净度控制（粉尘产生及静电消除）、运行精度、稳定性提出了更高的要求。
公司掌握了符合洁净工厂智能搬运系统要求的材料选用与表面处理方法，动态气流模拟、仿真验证、抗静电设计、粉尘动态剔除设计、设备参数动态采集与输出等一系列核心技术，拥有适用于不同场景的洁净工厂智能搬运设备。
液晶面板移载输送机
液晶面板垂直输送机
洁净升降机是液晶行业洁净车间跨楼层所需的垂直输送系统，通过LFC及PLC控制桥轿厢升降，实现液晶面板存储单元跨楼层搬运。
1.升降输送速度：0~90m/min
2.升降输送加速度：0.5m/s²
3.最⼤载重：1500kg
4.设备震动系数：0.3g
5.设备使⽤环境：Class10-10000
LUL串接液晶⾯板⼯⼚的物料储存与搬送，通过BC技术控制机器⼈将基板从储存单元取出⾄移载机并输送到各个制程。
1.装载卡匣：20~30s
2.退卸卡匣：15~20s
3.最⼤载重：2000kg
4.设备震动系数：0.3g
5.设备使⽤环境：Class10-10000
半导体晶圆前端模块
半导体晶圆盒垂直输送机
该产品⽤于半导体⾏业晶圆拣选环节，集成晶圆⾃
动寻边、⾼精度CCD对位、FOUP⾃动拆盖、晶圆⾃动Mapping及多模式混合排列等功能。
1.晶圆盒开盖：20~25s
2.晶圆盒关盖：10~15s
3.最⼤载重：30kg
4.经过OCR传⽚能⼒：330WPH
5.设备使⽤环境：Class10-10000
该产品主要应⽤于半导体⾏业晶圆盒的跨楼层垂直搬送环节，占地⾯积⼩，成本相较于Tower STK更有优势。
1.升降输送速度：0~90m/min
2.升降输送加速度：0.5m/s²
3.最⼤载重：50kg
4.设备震动系数：0.3g
5.设备使⽤环境：Class10-10000
