洁净环境搬运系统
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液晶面板及半导体产业对生产制造、搬送存储过程中环境的洁净度要求非常高，公司研发了一系列洁净环境专用设备，包括液晶面板垂直输送机、液晶面板移载输送机、半导体晶圆盒垂直输送机、半导体晶圆前端模块等。

液晶面板移载输送机

液晶面板垂直输送机

洁净升降机是液晶行业洁净车间跨楼层所需的垂直输送系统，通过LFC及PLC控制轿厢升降，实现液晶面板存储单元跨楼层搬运。

1.升降输送速度：0~90m/min

2.升降输送加速度：0.5m/s²

3.最⼤载重：1500kg

4.设备震动系数：0.3g

5.设备使⽤环境：Class10-10000

LUL串接液晶⾯板⼯⼚的物料储存与搬送，通过BC技术控制机器⼈将基板从储存单元取出⾄移载机并输送到各个制程。

1.装载卡匣：20~30s

2.退卸卡匣：15~20s

3.最⼤载重：2000kg

4.设备震动系数：0.3g

5.设备使⽤环境：Class10-10000

半导体晶圆盒垂直输送机

半导体晶圆前端模块

该产品主要应⽤于半导体⾏业晶圆盒的跨楼层垂直搬送环节，占地⾯积⼩，成本相较于Tower STK更有优势。

1.升降输送速度：0~90m/min

2.升降输送加速度：0.5m/s²

3.最⼤载重：50kg

4.设备震动系数：0.3g

5.设备使⽤环境：Class10-10000

该产品⽤于半导体⾏业晶圆拣选环节，集成晶圆⾃

动寻边、⾼精度CCD对位、FOUP⾃动拆盖、晶圆⾃动Mapping及多模式混合排列等功能。

1.晶圆盒开盖：20~25s

2.晶圆盒关盖：10~15s

3.最⼤载重：30kg

4.经过OCR传⽚能⼒：330WPH

5.设备使⽤环境：Class10-10000